去磷硅玻璃清洗设备 CSE-T-si 设备名称:磷硅玻璃清洗机, 用途: 本设备主要用于对硅片去磷硅玻璃的清洗干燥处理,清洗、 干燥在同一台设备上完成。 规格尺寸:长 6000mm,宽 1600mm,高 2500mm 主要材质:壳体:德国进口NPP板,槽体:10mm PVDF板活动门:透明PVC 产品特点:1此清洗装置主要由通过式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控系统等部分组成。设备走向统一采用“左进右出”方式。工件由作业员左边人工上料,经清洗后,经作业员右边人工出料。此设备腐蚀清洗干燥装置主要由水平通过式腐蚀清洗主体(槽体部分/管路部分/干燥部分等),移动机械传送装置,抽风系统,电控及操作台等部分组成。 备 注:1.本机配有两个机械臂;机械臂采用平稳控制方式,提篮不会晃动;机械臂的定位精度高; 2.每次只能钩取二个承载器,挂钩与机械手采用螺纹连接,方便调整;提升总量不大于30KG;